Даацын ашиглалтын хугацаа Бууруулалт нь олон хүчин зүйлээс хамаарч болох бөгөөд ялангуяа кварцын хоолойн хэрэглээний нөхцөлд, жишээлбэл хагас дамжуулагч, фотовольтайк эсвэл өндөр температурт явагдах процессуудад. Үүний гол шалтгаанууд нь:
1. Кварцын хоолойн материалын асуудлууд
- Өндөр бохирдлын агууламжМеталл ионууд (жишээ нь Fe, Cu, Na) эсвэл гидроксил (OH⁻) бохирдлууд нь дахин нэгдэх төвүүдийг үүсгэж, дамжуулагчийн дахин нэгдлийг түргэтгэн, амьдрах хугацааг багасгаж болно.
- Кристаллын гэмтлүүдКварцын хоолойг үйлдвэрлэх явцад үүсдэг бүтцийн гэмтлүүд (жишээлбэл, шилжилтүүд болон хоосон зай) нь дамжуулагчдыг гацтаж, тэдний үр ашигтай насыг бууруулж болно.
- Цэвэр байдал хангалтгүй: Синтетик кварц (жишээлбэл, өндөр цэвэршилттэй SiO₂) нь байгалийн кварцаас илүү сайн дамжуулагчийн наслах хугацааны үзүүлэлттэй байдаг. Хэрэв нийлүүлэгчийн материалын цэвэршилт шаардлагатай стандартыг хангаагүй бол асуудал үүсч болно.
2. Процесс эсвэл орчны хүчин зүйлс
- Өндөр температурын бохирдолӨндөр температуртай процессууд (жишээлбэл диффузи эсвэл аннелинг) үед кварцын хоолойнууд бохирдлыг ялгаруулж эсвэл процесс хий (жишээлбэл O₂, H₂)тэй урвалд орж, вафер эсвэл дээжийг бохирдуулж болно.
- Гадаргуугийн бохирдолКварцын хоолойг хангалтгүй цэвэрлэх (илүү үлдэгдэл тоосонцор, органик бодис) эсвэл буруу хадгалах (тоос, чийгэнд өртөх) нь гадаргуугийн дахин нэгдэх төвүүдийг үүсгэж болно.
- Дулааны ачааллын гэмтэлХурдан халаалт, хөргөлт кварцын хоолойнд бичил хагарал үүсгэж болно. Дотоод даралттай бүсүүд нь дамжуулагчийн дахин нэгдэлтийн идэвхтэй төвүүд болж болно.
3. Шалгалт болон ашиглалтын нөхцлийн асуудлууд
- Процессийн параметрүүдийн зөрүүЖишээлбэл, температур кварцын хоолойн тэсвэрлэх хязгаараас давсан тохиолдолд (ердийн кварцын хоолой 1200°C-аас дээш температурт кристалжиж болно) эсвэл хийн орчин хоолойн ханыг элэгдүүлж (жишээ нь Cl₂, HF).
- Хэмжилтийн алдаануудДаагчийн ашиглалтын хугацааг турших аргууд (жишээлбэл, микродолгионы фотоцалгогч уналт μ-PCD болон квази тогтмол фотоцалгогч QSSPC) нь дээжийн гадаргуугийн нөхцөл, гэрлийн эрчим болон бусад хүчин зүйлсээс хамаардаг тул туршилтын саад тотгорыг арилгах шаардлагатай.
4. Бусад нийлүүлэгчдээс үүдэлтэй боломжит асуудлууд
- Захиалгын тодорхойлолтын зөрүүХэрэв кварцын хоолойн хэмжээ (жишээлбэл ханын зузаан тэнцвэргүй байх) эсвэл бүрээс (жишээлбэл тусгалгүй бүрээс) нь хэрэглэгчийн шаардлагад нийцүүлэн оновчтой болгоогүй бол дулааны тархалт тэнцвэргүй болох эсвэл орон нутгийн гэмтэл үүсэх шалтгаан болж болно.
- Параметрүүдийн худал шошголЗарим нийлүүлэгчид цэвэршилтийн түвшинг худал мэдүүлж болно (жишээлбэл, “өндөр цэвэршилт” гэж шошголсон ч үнэндээ 99.99% SiO₂-д хүрдэггүй) эсвэл гидроксилийн агууламжийг (UV тусгал нэвтрүүлэлтэд нөлөөлдөг) илэрхийлэхгүй байж болно.
Техникийн шийдлүүд
- Ашиглахыг зөвлөж байна бага гидроксилтэй синтетик кварцын хоолой Хэт ягаан туяаны шингээлтийг бууруулах ба бохирдлын дахин нэгдэх төвүүдийг бууруулах.
- Санал Захиалгат кварцын хоолойн урьдчилсан боловсруулалтын үйлчилгээ Гадаргуугийн бохирдлыг арилгахын тулд (жишээлбэл өндөр температурт аннелинг хийх болон этчингээр цэвэрлэх).