高純度石英管炉での使用と安全に関するヒント

石英管は1265℃を超える温度にさらされると軟化し始める。安全性と最適な性能のためには、炉の温度1210℃を3時間以上超えないことが推奨される。石英管の耐熱性はその純度に直接関係しており、純度が高いほど耐熱性は向上する。

管状炉に石英管を使用する際の主な推奨事項

セラミック・プラグの使用:
- 管状炉で加熱する場合、石英管内にセラミックプラグを配置することが不可欠です。こうすることで、均等な熱場を維持し、熱処理結果を向上させることができます。プラグは両側に2個ずつ（合計4個）取り付けます。
- この設定は、フランジ内のOリング・シールが熱で変形するのを防ぐのに役立つ。O-リングシールは260℃を超える温度には耐えられないので、シールが損なわれる可能性があることに注意してください。
水素ガス安全上の注意:
- 水素ガスの濃度が爆発限界値よりかなり低い場合を除き、炉内への導入は避けてください。やむを得ず水素ガスを使用する場合は、安全対策を徹底し、ガス導入時に炉の両側に作業者が立ち入らないようにしてください。
- ステンレスチューブは熱伝導率が高いため、水素用には石英よりもステンレスチューブを推奨する。シリコンOリングシールの過熱を防ぐため、ステンレスチューブの両端には水冷が必要です。
炉内のマテリアルハンドリング:
- SiO₂と相互作用する可能性のある反応性物質が石英管内に残っていないことを確認し、清浄な環境を維持する。
- 材料を加熱するときは、石英管の寿命を延ばすために、石英管の上に直接材料を置くのではなく、舟形のるつぼを使用する。

GlobalQTでは、高品質の石英管と発熱体を専門としています。詳しくは Webサイトまたはメールでお問い合わせくださいお問い合わせ.

著者

彭、キャスパー

Casper Peng is a seasoned expert in the quartz tube industry. With over ten years of experience, he has a profound understanding of various applications of quartz materials and deep knowledge in quartz processing techniques.
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