1. Framleiðsla hálfleiðartækja (mjög viðeigandi)
Ferlar hás hitastigs dreifingar og afturköllunar:
Kvartsrör eru almennt notuð í háhita-dreifingargröfum fyrir hálfleiðarflögur til dælingar (til dæmis fosfórs- eða bórsdreifingar) eða eftirhitunar (virkjun dælingarefna).
Lífslíkur burðarbera eru lykilbreyta við mat á gæðum kísilflísa. Ef óhreinindi í kvartsrörum (svo sem málmjónir) menga flísarnar getur það leitt til aukinnar endur sameiningar burðarbera og skemmtra líftíma.
Prófanir fela í sér mælingu á líftíma minnihlutaberans til að meta áhrif ferlisins á rafmagnseiginleika flögu.
Epítakía:
Kvartsrör eru notuð í CVD (efnauppgufunarútfellingu) viðbragðshólfum. Ef veggur rörsins mengast eða verður fyrir devitrification getur gæði epítakslagsins rýrnað, sem leiðir til skemmri líftíma burðarbera.
2. Prófun sólarfrumna
Vinnsla sólarsílíkonflísa:
Í háskilvirkum sólarfrumferlum, svo sem PERC og TOPCon, eru kvarsrör notuð til að leggja passiverunarlag (t.d. SiNx eða Al₂O₃) eða til háhita-brennslu.
Lífstími burðarbera hefur bein áhrif á umbreytingarnýtni frumunnar. Ef kvartsrörinn veldur mengun mun yfirborðsendur sameiningarhraði flögu aukast.
Mælingar eru framkvæmdar með QSSPC (næst-jöfnu ástandi ljósleiðni) eða μ-PCD (örbylgju-ljósleiðnisdrep) til að ákvarða líftíma minnihlutaberenda.
3. Efnisrannsóknir (t.d. hálfleiðarar með breiðu bandagapi)
SiC/GaN tækniaferlar:
Ferlar við háan hita (>1500 °C) fyrir kísilkarbíð- (SiC) eða gallíumnítríð- (GaN) tæki krefjast ofurhreinna kvarsrör. Óhreinindi geta aukið þéttleika viðmótarástands, sem leiðir til skemmtri líftíma burðarvera.
Rannsóknir beinast oft að rafeiginleikum epítakslaga eða oxíðlaga.
4. Önnur tengd próf
Framleiðsla ljósnema eða skynjara:
Lífferill burðarins hefur áhrif á viðbragðshraða. Ef kvartsrör menga viðkvæm efni (svo sem InGaAs) getur frammistaða tækisins versnað.
Prófanir á rannsóknarstofustigi:
Sumir viðskiptavinir kunna einfaldlega að nota kvarsrör sem viðbragðshylki til að prófa flutningsdýnamík nýrra efna (svo sem perovskíta).
Prófsviðsleit
Lífstílsnæmni flutningsaðila:
Þessi breytur eru afar mikilvægar í hálfleiðara- og sólarrafmagnsgeirum, en í hefðbundnum iðnaðar- eða efnafræðilegum tilraunum er hún yfirleitt ekki mæld sérstaklega.
Háshitanotkun kvartsrör:
Almenn efnafræðileg tilraunir krefjast tiltölulega lítillar hreinleikakrafna fyrir kvarztúbur, en ferlar í hálfleiðurum og sólarrafhlöðum eru afar viðkvæmir fyrir mengun.