1. Вытворчасць паўправадніковых прылад (вельмі актуальна)
Працэсы высокатэмпературнай дыфузіі/анатцэлівання:
Кварцавыя трубкі шырока выкарыстоўваюцца ў высокатэмпературных дыфузійных печах для паўправадніковых пласцін для дапавання (напрыклад, дыфузіі фосфу або бору) або адпалу (актывацыі дапантаў).
Тэрмін жыцця носьбітаў — ключавы параметр для ацэнкі якасці крэмніевых пласцін. Калі кварцавыя трубкі забруджваюць пласціны (напрыклад, металічнымі іёнамі), гэта можа прывесці да павелічэння рэкамбінацыі носьбітаў і зніжэння іх тэрміну жыцця.
Тэсты ўключаюць вымярэнне часу жыцця меншаснай носьбіта для ацэнкі ўплыву працэсу на электрычныя характарыстыкі пласціны.
Эпітаксія:
Кварцавыя трубкі выкарыстоўваюцца ў рэакцыйных камерах для хімічнага асаджання з пары (CVD). Калі сцянак трубкі забруджваюцца або адбываецца яе дэвітрыфікацыя, якасць эпітаксійнага слоя можа пагоршыцца, што прыводзіць да змяншэння тэрміну службы носьбітаў.
2. Выпрабаванні фотаэлектрычных элементаў
Апрацоўка сонечных крэмніевых вафель:
У працэсах высакаэфектыўных сонечных элементаў, такіх як PERC і TOPCon, кварцавыя трубкі выкарыстоўваюцца для нанясення пасівавальнага слоя (напрыклад, SiNx або Al₂O₃) або для высокатэмпературнай выпальвання.
Тэрмін службы носьбітаў непасрэдна ўплывае на эфектыўнасць пераўтварэння клеткі. Калі кварцавая трубка забруджваецца, хуткасць паверхневай рэкамбінацыі пласціны павялічыцца.
Вымярэнні праводзяцца з выкарыстаннем QSSPC (квазістацыянарнай фотаправоднасці) або μ-PCD (згасання мікрахвалевай фотаправоднасці) для вызначэння часу жыцця носьбітаў меншасці.
3. Даследаванне матэрыялаў (напрыклад, шыроказазорных паўправаднікоў)
Працэсы вырабу SiC/GaN-прылад:
Высакатэмпературныя працэсы (>1500°C) для вырабу прылад з карбіду крэмнію (SiC) або нітрыду галію (GaN) патрабуюць ультрачыстых кварцавых труб. Нечисці могуць павялічыць шчыльнасць інтэрфейсных станаў, што прыводзіць да зніжэння даўгалецця носьбітаў.
Даследаванні часта сканцэнтраваны на электрычных уласцівасцях эпітаксійных або акісных слаёў.
4. Іншыя звязаныя тэсты
Вытворчасць фотадатчыкаў або датчыкаў:
Тэрмін службы носьбіта ўплывае на хуткасць водгуку. Калі кварцавыя трубкі забруджваюць адчувальныя матэрыялы (такія як InGaAs), прадукцыйнасць прылады можа пагоршыцца.
Лабараторнае тэсціраванне:
Некаторыя кліенты могуць проста выкарыстоўваць кварцавыя трубкі ў якасці рэакцыйных ёмістасцей для выпрабавання дынамікі пераносу новых матэрыялаў (такіх як пераваскіды).
Рэлевантнасць тэсту
Чуласць на працягу ўсяго тэрміну службы:
Гэты параметр мае вырашальнае значэнне ў галінах паўправаднікоў і фатаэлектрыкі, у той час як у тыповых прамысловых або хімічных эксперыментах яго звычайна не вымяраюць спецыяльна.
Высокатэмпературнае прымяненне кварцавых труб:
Для агульных хімічных эксперыментаў патрабаванні да чысціні кварцавых труб адносна невысокія, у той час як для паўправадніковых/фатаэлектрычных працэсаў забруджванне надзвычай адчувальнае.